Bu Analiz Ne İşe Yarar?
SEM (Taramalı Elektron Mikroskobu), numunenin yüzeyini odaklanmış bir elektron demetiyle tarayarak gözün ve optik mikroskopların göremeyeceği ayrıntıları görsel hale getirir. Optik mikroskopların çözünürlüğü yaklaşık 200 nanometre ile sınırlıyken SEM 100.000 kata kadar büyütme imkânı sunar. Böylece nano ve mikro düzeydeki yüzey yapıları net biçimde incelenebilir.
Yalıtkan (iletken olmayan) numuneler için yüzeye ince altın-paladyum kaplama uygulanabilir. Düşük basınçlı VPSE dedektörü ile kaplama yapılmadan da orta büyütmelerde numune incelenebilir.