Elipsometre – Spektroskopik Elipsometri Ölçümü (Ψ, Δ)
İnce Film Kalınlığı ve Optik Sabitlerin Hassas Ölçümü
📋 Analiz Özeti
Analiz Adı: Elipsometre – Spektroskopik Elipsometri Ölçümü (Ψ, Δ)
Kullanılan Cihaz: Spektroskopik Elipsometre
Analiz Süresi: En geç 2 hafta içerisinde sonuç
Numune Türü: İnce film, kaplama, çok katmanlı yapılar ve optik olarak düzgün katı yüzeyler
🔬 Bu Analiz Nedir?
Spektroskopik elipsometri, yüzeye belirli bir açıyla gönderilen polarize ışığın yansıma sonrası faz ve genlik değişimini ölçerek ince filmlerin optik özelliklerini belirleyen tahribatsız bir yöntemdir.
Ölçülen temel parametreler:
- Ψ (Psi): Genlik oranı değişimi
- Δ (Delta): Faz farkı değişimi
Bu veriler uygun optik modelleme ile analiz edilerek:
- Film kalınlığı
- Kırılma indisi (n)
- Sönüm katsayısı (k)
- Optik sabitler
hesaplanır.
✅ Ne Zaman Tercih Edilir?
İnce film kalınlığı ölçümünde:
Nanometre hassasiyetinde kalınlık belirlenmek isteniyorsa.
Çok katmanlı sistemlerde:
Her tabakanın optik özellikleri analiz edilecekse.
Yarı iletken ve kaplama teknolojilerinde:
Film kalitesi ve homojenliği incelenecekse.
Optik malzemelerde:
Kırılma indisi spektral olarak belirlenecekse.
Ar-Ge ve akademik çalışmalarda:
Optik modelleme ile detaylı karakterizasyon yapılacaksa.
🧪 Hangi Numuneler İçin Uygundur?
- İnce film ve kaplamalar
- Yarı iletken wafer yüzeyleri
- Şeffaf ve yarı şeffaf filmler
- Dielektrik ve metalik kaplamalar
- Çok katmanlı optik yapılar
📌 Numune yüzeyi düzgün, temiz ve optik ölçüme uygun olmalıdır.
📊 Bu Analizden Ne Öğrenirsiniz?
- Ψ ve Δ spektrumları
- Film kalınlığı (nm)
- Kırılma indisi (n)
- Sönüm katsayısı (k)
- Optik model uyum parametreleri
Spektroskopik ölçüm sayesinde dalga boyuna bağlı optik sabitler elde edilir.
🔍 Bu Analizi Kim, Neden Yaptırır?
Yarı İletken ve Mikroelektronik
❓ “Film kalınlığı doğru mu?”
❓ “Optik sabitler hedef değerde mi?”
➡️ Mikroelektronik ve yarı iletken Ar-Ge ekipleri
Kaplama ve İnce Film Teknolojileri
❓ “Kaplama homojen mi?”
❓ “Tabaka kalınlığı kontrol edildi mi?”
➡️ Kaplama ve yüzey mühendisliği ekipleri
Optik ve Fotovoltaik Çalışmalar
❓ “Optik bant aralığı tahmin edilebilir mi?”
➡️ Enerji ve optik malzeme araştırma ekipleri
Akademik Araştırmalar
❓ “Ψ ve Δ verilerini modellemek istiyorum.”
➡️ Üniversiteler ve araştırma merkezleri
🧬 Numune Nasıl Hazırlanır?
✅ Numune yüzeyi temiz ve tozsuz olmalıdır
✅ Düz ve pürüzsüz yüzey tercih edilir
✅ Altlık ve kaplama bilgisi paylaşılmalıdır
✅ Tahmini kalınlık bilgisi verilmelidir
📌 Doğru sonuç için uygun optik model seçimi önemlidir.
⏱️ Analiz Süreci ve Süre
Numune Kabulü
Uygun ölçüm açısının belirlenmesi
Ψ ve Δ spektrumlarının alınması
Optik modelleme ve veri analizi
Raporlama
Toplam Süre: Numune ve modelleme kapsamına bağlı olarak değişebilir (en geç 2 hafta içerisinde sonuçlandırılır)
📄 Raporunuzda Neler Olur?
✔️ Ψ ve Δ spektrumları
✔️ Film kalınlığı (nm)
✔️ n ve k değerleri (dalga boyuna bağlı)
✔️ Kullanılan optik model
✔️ Uyum parametreleri ve teknik değerlendirme
📞 Analiz Başvurusu Nasıl Yapılır?
1️⃣ Otomasyon sistemine giriş yapın
👉 merklab.yildiz.edu.tr
2️⃣ “Elipsometre – Spektroskopik Elipsometri Ölçümü (Ψ, Δ)” hizmetini seçin
- Numune türünü belirtin
- Tahmini film kalınlığını yazın
3️⃣ Numunenizi teslim edin
4️⃣ Sonuçları sistem üzerinden indirin
❓ Sık Sorulan Sorular
S: Elipsometri ile kalınlık doğrudan ölçülür mü?
C: Ölçülen Ψ ve Δ değerleri optik modelleme ile kalınlığa dönüştürülür.
S: Çok katmanlı sistem analiz edilebilir mi?
C: Evet, uygun modelleme ile her katman ayrı ayrı analiz edilebilir.
S: Tahribatsız mıdır?
C: Evet, tamamen tahribatsız bir optik yöntemdir.
📧 İletişim ve Danışmanlık
📧 merkezlab@yildiz.edu.tr
📞 0 (212) 383 8033
Numunenizin elipsometri analizine uygunluğu ve modelleme gereksinimleri hakkında bilgi almak için e-posta ile iletişime geçebilirsiniz.
🎯 İnce film ve kaplamalarınızın kalınlığını ve optik sabitlerini yüksek hassasiyetle belirlemek için Elipsometre – Spektroskopik Elipsometri Ölçümü (Ψ, Δ) hizmetimize başvurabilirsiniz.