Bu Analiz Ne İşe Yarar?
Spektroskopik elipsometri, bir yüzeye farklı açı ve dalga boylarında polarize ışık göndererek yansımanın polarizasyon değişiminden film kalınlığını, kırılma indisini ve soğurma katsayısını nanometre hassasiyetiyle ölçer. Tamamen temassız ve tahribatsız bir yöntemdir.