Bu Analiz Ne İşe Yarar?
İnce film XRD analizi, bir substrat (cam, silikon, metal vb.) üzerine biriktirilmiş kaplamalar veya ince filmlerin kristal yapısını, oryantasyonunu ve kalitesini incelemeye yarar. Standart toz XRD’den farklı olarak, ışın çok küçük açıyla numuneye gönderilir; böylece altındaki substrat değil yalnızca kaplama tabakası incelenir.
Numune boyutu (1.5 – 3 cm) × (1.5 – 3 cm), yüksekliği 0.5 – 3 mm aralığında olmalıdır.